高级别电子无尘车间建造应该重点关注如下问题:
一、高级别电子无尘车间对生产环境的要求非常严格。
电子工厂尤其是微电子和光电子产业的电子工厂,工艺生产对大面积高洁净度洁净室所要求的生产环境不仅仅有:建筑围护、结构、空气、水以及气体、溶剂等原材料,而且还有声、光、电、磁、振等各种环境。 建造电子工厂的高级别洁净室最重要的是要使建造的洁净室应能满足生产工艺对生产环境的严格要求,使之能高效率、高成品率地生产出高质量的电子产品。
二、电子工厂高级别洁净室的建造投资费用非常高。
高级别洁净室建造投资的费用很高。一般来说,4级(10级)至5级(100级)垂直单向流洁净室,其室内建筑围护装修(包括墙、顶、地、门窗等)和净化空调系统(包括制冷和空调、净化设备、管道和配件)其建设初投资大约为10 000至15 000元每平方米;如果再加上纯水制备设备和系统管线配件,纯气的发生设备和系统管线配件、废水废气排放设备和系统管线配件;消防系统设备管线配件;供配电和自动控制系统的设备管线配件以及集中式真空清扫系统设备配件管线等等,其单位面积的初投资可高达25 000至30 000元每平方米。
三、电子工厂高级别洁净室的运行管理费用非常贵。
因为电子工厂高级别洁净室的净化送风量大、工艺设备局部排风量大、新风量大,温、湿度要求严格,所以送风的空气热湿处理的冷量、热量、加湿量也大,空气输配的能量消耗量大,运行费用很贵。 电子工厂高级别洁净室仅仅保持室内的洁净度、温湿度每平方米所花的运行费用就要高达5000至6000元/ 每平方米人民币。
四、电子工厂高级别洁净室的适应性、灵活性非常强。
微电子集成电路的发展规律告诉我们,每隔2至3年就上一个台阶,其芯片的集成度就要增加4倍,特征尺寸(线宽)就要缩小30%,年销售价格就要下降30%。继微电子之后发展起来的光电子产业的发展速度比微电子产业还快。在设计和建造这样高级别洁净室时,应考虑到生产工艺的发展、变更,使洁净室具有很好的适应性和灵活性。
五、电子工厂高级别洁净室安全性、可靠性非常好 。
为了生产出高可靠、高质量、高成品率的高科技电子产品,为了满足生产工艺对生产环境的严格要求,设计和建造洁净室时必须把安全可靠放在第一位,即保证所建造的洁净室的全部生产环境:洁净度、温湿度、风速、压力、噪声、照度以及静电微振、电磁等等都必须百分之百的满足生产工艺的要求。保证环境参数可靠,稳定不出差错。另外,从安全角度上讲,即建筑结构承重的安全和防火防爆防毒的安全更是十分重要的。
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